【2020測量大咖】什么是共聚焦顯微鏡?蔡司非接觸式高精度的共聚焦測量技術
更出色的表面分析ZEISS Smartproof 5產品表面粗糙度質量控制
ZEISS Smartproof 5是一款集成式轉盤共聚焦顯微鏡,依托孔徑關聯技術將傳統共聚焦顯微鏡的高分辨率與轉盤系統的高速采集相結合,能夠高速、準確地采集表面3D數據。
二維測量:距離、高度、角度、構造元素和基于ISO 4287標準的輪廓粗糙度
三維測量:水平距離、3D距離、高度、角度、構造點、面積、體積和基于 ISO 25178 標準的面粗糙度
優勢:Z軸測量精度可達納米級
采集速度與分辨率:Smartproof 5 將點掃描系統的高分辨率與轉盤系統的高速采集優勢融為一體。
(左圖)由 20x/0.7 物鏡拍攝的四張真彩表面紋理疊加 3D 彩色編碼高度圖的拼接圖片;(右圖)以垂直于機械加工方向獲取的粗糙度剖面圖,顯示了表面輪廓。
應用案例:花齒螺釘
(左圖)疊加真彩紋理的三維視圖;(中圖)用 10×/0.4 物鏡創建的高度圖;(右圖)用于測量區域粗糙度或紋理的二維高度圖,例如用于質量控制或確定假冒電子設備。